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超精密加工的发展阶段——发那科喷涂机器人
当前超精密加工，而无需改变工件材料的物理性质，作为一个先决条件，以获得形状的**度，尺寸精度，表面粗糙度，表面完整性（没有或*小的表面损伤，缺陷，包括微裂纹的极限，残余应力，组织变革）为目标。
超精密机械加工的研究主要内容，即影响超精密加工精度的各种社会因素分析包括：超精密加工机理、被加工企业材料、超精密加工处理设备、超精密加工工具、超精密加工夹具、超精密加工的检测与误差进行补偿、超精密加工工作环境（包括恒温、隔振、洁净控制等）和超精密加工制作工艺等。一直以来，国内外相关学者通过围绕我们这些信息内容展开了这个系统的研究。超精密加工的发展中国经历了如下三个不同阶段。
2）在20世纪80年代和90年代进入私营工业的早期应用。美国普瑞泰克公司，日本东芝和日立，以及欧洲和其他公司克兰菲尔德在政府支持下的摩尔公司的超精密加工设备的商业化，开始生产民用精密光学镜头。单超精密加工设备仍然是稀缺和昂贵，主要是在定制的**机的形式。在此期间，也有超精密金刚石研磨技术和研磨机可处理的硬金属和硬而脆的材料，但它的处理效率，并且不能相对于金刚石车床。
3）20世纪90年代后，民用超精密机械加工企业技术研究逐渐形成成熟。在汽车、能源、医疗活动器材、信息、光电和通信等产业的推动下，超精密加工处理技术进行广泛学习应用于非球面光学镜片、超精密模具、磁盘驱动器磁头、磁盘基板、半导体基片等零件的加工。随着超精密加工工艺设备的相关数据技术，例如一些精密主轴部件、滚动导轨、静压导轨、微量进给驱动装置、精密数控管理系统、激光精密检测网络系统等逐渐走向成熟，超精密加工过程中设备能够成为我国工业界常见的生产安全设备。此外，设备使用精度也逐渐开始接近纳米级水平、可加工工件的尺寸影响范围也变得更好更大，应用问题越来越受到广泛。随着中国数控专业技术的发展，还出现了超精密五轴铣削和飞切技术。已经不仅可以提高加工非轴对称非球面等复杂零件。
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